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增粘(抗粘)預處理系統(tǒng)疏水性預處理后判斷的依據(jù)和種類
來源: | 作者:上海雋思半導體設備部 | 發(fā)布時間: 2026-02-02 | 746 次瀏覽 | ?? 點擊朗讀正文 ?? ? | 分享到:

根據(jù)接觸角數(shù)值可明確表面潤濕性分類:接觸角<90°時,固體表面為親水表面,液體可在表面部分鋪展;接觸角>90°時,為疏水表面,液體呈液滴狀附著;接觸角>150°且滾動角<10°時,為超疏水表面;接觸角<5時,為超親水表面。

接觸角測試儀器的核心分類依據(jù)是測試方法,主流類型包括座滴法儀器、懸滴法儀器、躺滴法儀器、毛細管上升法儀器等。

  座滴法儀器因操作簡便、適用范圍廣;它的核心原理是:將一定體積的液體滴落在水平放置的固體樣品表面,形成穩(wěn)定液滴后,通過光學系統(tǒng)捕捉液滴圖像,再通過圖像處理計算接觸角。該方法適用于增粘HMDS預處理系統(tǒng)在光刻工藝中,各種襯底增粘工藝。及抗粘劑蒸鍍機處理工藝,在納米壓印抗粘層工藝制備,超疏水性處理。

該方法適用于固體樣品,可測試靜態(tài)、前進、后退接觸角,液體體積通常為1~5μL,液滴過大易因重力變形,過小易受表面粗糙度影響。使用靜滴法測量前進與后退接觸角的原理。

  懸滴法儀器主要用于測試液體表面張力與液體在固體表面的接觸角,核心原理是:將液體懸掛在毛細管末端,形成懸滴后捕捉圖像,通過液滴形態(tài)計算表面張力,再結合Young方程推導接觸角。該方法

該方法適用于液體粘度較高、固體樣品不易水平放置的場景(如纖維、管狀樣品)。適用于纖維介孔材料、毛氈、卷氈等憎水性處理系統(tǒng)。

  躺滴法儀器適用于超親水或超疏水表面,當液體在固體表面鋪展速度較慢時,通過捕捉液滴“躺臥”狀態(tài)的圖像計算接觸角,避免因快速鋪展導致的圖像模糊。

  毛細管上升法儀器則通過測量液體在毛細管內(nèi)的上升高度,結合公式計算接觸角,適用于粉末樣品或多孔材料,硅烷氣相沉積系統(tǒng)處理后的潤濕性測試。


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