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     近日，來自微納制造領(lǐng)域的一項(xiàng)最新研究成果，為柔性傳感器突破高溫應(yīng)用瓶頸提供了新思路。西安交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院精密工程研究所的劉兆鈞博士、田邊教授、蔣莊德院士及其合作團(tuán)隊(duì)首次制備出了具有良好溫度敏感性的高溫柔性溫度傳感器。相關(guān)成果發(fā)表于工程制造領(lǐng)域期刊《極端制造》。

傳統(tǒng)柔性溫度傳感器難以實(shí)現(xiàn)高溫?zé)o損監(jiān)測(cè)

     柔性傳感器是指采用柔性材料制成的傳感器，具有良好的柔韌性、延展性，甚至可自由彎曲、折疊，而且結(jié)構(gòu)形式靈活多樣，可根據(jù)測(cè)量條件的要求任意布置，能夠非常方便地對(duì)復(fù)雜表面進(jìn)行檢測(cè)。

     在可穿戴方面，柔性的電子產(chǎn)品適合“人體不是平面”的生理特性，因此更易于測(cè)試皮膚的相關(guān)參數(shù)，其可將外界的受力或受熱情況轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，傳遞給機(jī)器人的電腦進(jìn)行信號(hào)處理，從而實(shí)時(shí)精準(zhǔn)地監(jiān)測(cè)出人體各項(xiàng)指標(biāo)。

“柔性薄膜溫度傳感器能變形、易附著、輕薄等優(yōu)點(diǎn)受到了研究人員的廣泛關(guān)注?！碧镞呎f，“熱電偶式傳感器以結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、便于集中控制等優(yōu)點(diǎn)脫穎而出。”

結(jié)合二者優(yōu)勢(shì)，熱電偶式柔性薄膜溫度傳感器應(yīng)運(yùn)而生?！皽囟葌鞲衅髦饕蓛刹糠纸M成，由兩種不同材料制成的溫度敏感層和柔性基板。溫度敏感層常由金屬以及金屬化合物組成，柔性基材則選擇已經(jīng)商業(yè)化的聚二甲基硅氧烷、聚酰亞胺固化無氧烘箱等高分子聚合物材料。”田邊表示。

    實(shí)際上，柔性傳感器的優(yōu)勢(shì)使其能運(yùn)用到多個(gè)領(lǐng)域當(dāng)中，除了可穿戴設(shè)備，柔性傳感器還在醫(yī)療電子、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域顯示出很好的應(yīng)用前景。然而，現(xiàn)有的柔性薄膜溫度傳感器受柔性襯底、溫度敏感材料等限制，難以在高溫環(huán)境場(chǎng)中工作，更無法實(shí)現(xiàn)功能化應(yīng)用?！耙?yàn)槿嵝曰宓娜埸c(diǎn)通常低于400℃，在高溫環(huán)境中發(fā)生碳化后會(huì)變脆、變硬，因此，很難在高溫環(huán)境下使用現(xiàn)有的柔性溫度傳感器。這一點(diǎn)也限制了它們?cè)诤娇蘸教?、鋼鐵冶金和爆炸損傷檢測(cè)等極端環(huán)境中的應(yīng)用?！碧镞吔忉尩?。

     現(xiàn)有的高溫溫度測(cè)量手段受限于設(shè)備尺寸大、需要破壞結(jié)構(gòu)、破壞氣流場(chǎng)、受環(huán)境干擾等，難以實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度場(chǎng)的無損實(shí)時(shí)溫度監(jiān)測(cè)。”博士生劉兆鈞補(bǔ)充道。因此，如何繼承柔性薄膜傳感器的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)柔性薄膜傳感器在高溫環(huán)境下的安裝與應(yīng)用是亟須解決的關(guān)鍵問題。

突破多項(xiàng)柔性溫度傳感器測(cè)量瓶頸

    為了突破柔性溫度傳感器的溫度測(cè)量瓶頸，田邊教授團(tuán)隊(duì)創(chuàng)新性地選擇了具有寬溫域的鋁硅氧氣凝膠氈作為溫度傳感器的柔性基板。由于柔性基板表面不均勻、粗糙度較大，難以通過傳統(tǒng)的微納制造工藝實(shí)現(xiàn)薄膜沉積與功能化，因此團(tuán)隊(duì)選用了絲網(wǎng)印刷技術(shù)制備厚膜以克服上述困難。

   在制備傳感器的實(shí)際操作中，田邊、劉兆鈞等人使用有機(jī)黏合劑混合功能粉末完成漿料配置，利用高溫?zé)崽幚淼姆椒ㄈコ∧ぶ械亩嘤嘤袡C(jī)物，如環(huán)氧樹脂、松油醇等。同時(shí)，團(tuán)隊(duì)還針對(duì)不同應(yīng)用表面，基于柔性材料可變形、可共形的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)了功能薄膜的特定曲面化制備?！熬拖袂蛐O(shè)計(jì)者根據(jù)球星腳底的尺寸大小來制定碼數(shù)一樣，這種‘獨(dú)家訂制’能有效解決一些問題?！碧镞叡硎?，這樣制備好的柔性溫度傳感器能夠貼附于不同曲率曲面，例如葉片等。同時(shí)，其也具有超薄、超輕等優(yōu)點(diǎn)。這項(xiàng)研究首次實(shí)現(xiàn)柔性傳感器超低溫試驗(yàn)箱在零下190℃至零上1200℃這一極廣的溫度范圍內(nèi)工作，測(cè)試靈敏度也達(dá)到了可觀的226.7微伏每攝氏度（μV/℃）。這是現(xiàn)有所有柔性溫度傳感器難以實(shí)現(xiàn)的。擴(kuò)大柔性傳感器的工作溫域，為柔性傳感開拓了更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，它在探險(xiǎn)排難、航空航天、鋼鐵冶金等領(lǐng)域?qū)⒊尸F(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。