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堅膜烘箱，氮氣堅膜烘箱在芯片工藝中的用途
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發(fā)布時間: 2023-09-14
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堅膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。
堅膜烘箱，氮氣堅膜烘箱的用途
堅膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。 其的主要作用是除去光刻膠中剩余的溶劑,增強光刻膠對硅片表面的附著力,同時提高光刻膠在刻蝕和離子注人過程中的抗蝕性和保護能力。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。
堅膜烘箱，氮氣堅膜烘箱技術性能：
通過堅膜,光刻膠的附著力會得到提高,這是由于除掉了光刻膠中的溶劑,同時也是熱融效應作用的結果,因為熱融效應可以使光刻膠與硅片之間的接觸面積達到最大。較高的堅膜溫度可使堅膜后光刻膠中的溶劑含量更少,但增加了去膠時的困難。
溫度范圍：RT～250℃；
均勻度：±2%℃;
溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
潔凈度：Class100;
計時范圍：99H99M；
氣體氛圍：N2；
內部尺寸（mm）：
450×450×450
500×500×550
600×700×800（可定制）
