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增粘(抗粘)預(yù)處理系統(tǒng)疏水性預(yù)處理后判斷的依據(jù)和種類(lèi)
來(lái)源: | 作者:上海雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2026-02-02 | 745 次瀏覽 | ?? 點(diǎn)擊朗讀正文 ?? ? | 分享到:

根據(jù)接觸角數(shù)值可明確表面潤(rùn)濕性分類(lèi):接觸角<90°時(shí),固體表面為親水表面,液體可在表面部分鋪展;接觸角>90°時(shí),為疏水表面,液體呈液滴狀附著;接觸角>150°且滾動(dòng)角<10°時(shí),為超疏水表面;接觸角<5時(shí),為超親水表面。

接觸角測(cè)試儀器的核心分類(lèi)依據(jù)是測(cè)試方法,主流類(lèi)型包括座滴法儀器、懸滴法儀器、躺滴法儀器、毛細(xì)管上升法儀器等。

  座滴法儀器因操作簡(jiǎn)便、適用范圍廣;它的核心原理是:將一定體積的液體滴落在水平放置的固體樣品表面,形成穩(wěn)定液滴后,通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)捕捉液滴圖像,再通過(guò)圖像處理計(jì)算接觸角。該方法適用于增粘HMDS預(yù)處理系統(tǒng)在光刻工藝中,各種襯底增粘工藝。及抗粘劑蒸鍍機(jī)處理工藝,在納米壓印抗粘層工藝制備,超疏水性處理。

該方法適用于固體樣品,可測(cè)試靜態(tài)、前進(jìn)、后退接觸角,液體體積通常為1~5μL,液滴過(guò)大易因重力變形,過(guò)小易受表面粗糙度影響。使用靜滴法測(cè)量前進(jìn)與后退接觸角的原理。

  懸滴法儀器主要用于測(cè)試液體表面張力與液體在固體表面的接觸角,核心原理是:將液體懸掛在毛細(xì)管末端,形成懸滴后捕捉圖像,通過(guò)液滴形態(tài)計(jì)算表面張力,再結(jié)合Young方程推導(dǎo)接觸角。該方法

該方法適用于液體粘度較高、固體樣品不易水平放置的場(chǎng)景(如纖維、管狀樣品)。適用于纖維介孔材料、毛氈、卷氈等憎水性處理系統(tǒng)。

  躺滴法儀器適用于超親水或超疏水表面,當(dāng)液體在固體表面鋪展速度較慢時(shí),通過(guò)捕捉液滴“躺臥”狀態(tài)的圖像計(jì)算接觸角,避免因快速鋪展導(dǎo)致的圖像模糊。

  毛細(xì)管上升法儀器則通過(guò)測(cè)量液體在毛細(xì)管內(nèi)的上升高度,結(jié)合公式計(jì)算接觸角,適用于粉末樣品或多孔材料,硅烷氣相沉積系統(tǒng)處理后的潤(rùn)濕性測(cè)試。


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