就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環(huán)真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱
來源:
|
作者:雋思半導體烘烤
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發(fā)布時間: 2018-03-09
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百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱性能
控制界面：彩色液晶觸摸屏/LED按鍵控制儀表；
運行方式：可程式運行/定值運行；
內(nèi)箱材質(zhì)：SUS304不銹鋼；
外箱材質(zhì)：SUS304不銹鋼；
無塵等級：Class 100;
溫度范圍：RT+10～200/300/400℃；
溫度波動度：±0.5℃；
溫控精度：±0.1℃;
進氣口：φ8mmN2進氣、流量計控制;
降溫方式：風冷;
工作室尺寸：D800×W900×H900（mm）；(可指定尺寸）
網(wǎng)板：2-4層；
潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。
百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱特點
1.優(yōu)質(zhì)HEPA過濾器，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；
2.全周氬焊無縫焊接，無發(fā)塵不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用特殊的送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風循環(huán)方式，雙風道循環(huán)結(jié)構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。
百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱的應用
無塵烤箱、潔凈烘箱用于IC生產(chǎn)中前烘、后烘烤、堅膜、裝片機后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。主要應用范圍有電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
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