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基于壓電MEMS與光學(xué)超表面,構(gòu)建雙折射可調(diào)諧偏振控制器
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時間: 2022-05-09 | 1211 次瀏覽 | ?? 點擊朗讀正文 ?? ? | 分享到:

光學(xué)超表面(Optical Metasurface,以下簡稱“OMS”)是一種由人工微結(jié)構(gòu)組成的超薄平面器件,由于其具有超薄結(jié)構(gòu)和較強(qiáng)的可自主設(shè)計性,被視為光學(xué)領(lǐng)域新的革命性技術(shù)。近些年,各種OMS應(yīng)用也不斷呈現(xiàn)出爆發(fā)式增長態(tài)勢。

對于高度集成的光學(xué)系統(tǒng)而言,高性能的光學(xué)偏振操控器是實現(xiàn)其小型化和功能多樣化的重要前提。通過改變OMS組成單元的幾何形狀和排布方式等,可以靈活地調(diào)控入射光的振幅、相位、偏振態(tài)和色散等參量。不過,由于OMS工作波長范圍(涉及共振)或雙折射調(diào)諧范圍的限制,想要實現(xiàn)高效、快速和寬帶的動態(tài)偏振控制,仍然是一個充滿挑戰(zhàn)的問題。

據(jù)麥姆斯咨詢報道,近期,來自南丹麥大學(xué)納米光學(xué)中心的研究團(tuán)隊,通過將壓電MEMS薄膜與間隙表面等離子體(gap-surface plasmon,以下簡稱“GSP”)OMS相結(jié)合開發(fā)出電學(xué)動態(tài)MEMS-OMS系統(tǒng),并基于此構(gòu)建出一種雙折射可調(diào)諧動態(tài)波片(dynamic wave plate,以下簡稱“DWP”)控制器,該DWP偏振控制器具備高偏振轉(zhuǎn)換效率(~75%)、寬帶操作(~100nm附近工作波長為800nm)、快速響應(yīng)(<0.4ms),且能夠沿著由入射光偏振和DWP方向確定的軌跡環(huán)繞龐加萊球(Poincare)實現(xiàn)全范圍連續(xù)可調(diào)的雙折射控制。該研究成果已發(fā)表在Nature Communications期刊。

該DWP偏振控制器對光束連續(xù)可調(diào)的控制效果得益于OMS的各向異性。該控制器由帶有OMS結(jié)構(gòu)的玻璃基板構(gòu)成,組裝在可移動的MEMS微鏡上,通過施加驅(qū)動電壓,可精確控制MEMS微鏡和OMS之間的分離,從而實現(xiàn)連續(xù)可調(diào)的雙折射控制。

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基于電學(xué)動態(tài)MEMS-OMS系統(tǒng)的DWP偏振控制器


當(dāng)DWP在MEMS微鏡中工作時,表現(xiàn)出連續(xù)可調(diào)的各向異性,能夠完全環(huán)繞龐加萊球,例如從線性偏振向圓、正交線性和相反圓偏振轉(zhuǎn)換。MEMS微鏡通過驅(qū)動電壓改變其與OMS之間的距離,以此控制DWP產(chǎn)生雙折射并不斷調(diào)整反射光的偏振態(tài)。例如,當(dāng)一束偏振光入射到DWP上時,圍繞龐加萊球的不同偏振軌跡可作為不同的DWP方向,隨著驅(qū)動電壓的改變,反射光的偏振態(tài)也不斷發(fā)生調(diào)整。


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相對DWP軸以45°方向入射線性偏振光發(fā)生的偏振轉(zhuǎn)換


除了評估DWP偏振可調(diào)諧性、偏振轉(zhuǎn)換效率和響應(yīng)時間外,研究人員還將DWP與四分之一波片(QWP)結(jié)合,對其連續(xù)線性偏振旋轉(zhuǎn)的可能性進(jìn)行了分析。研究表明該DWP偏振控制器的各項性能與仿真效果非常吻合,同時也證明了該建模設(shè)計方法可適用于未來各種MEMS-OMS控制器的開發(fā)。


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固定角度入射線性偏振光發(fā)生的偏振轉(zhuǎn)換


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多種角度入射線性偏振光實現(xiàn)的多樣化偏振轉(zhuǎn)換


該項研究成功展示了基于MEMS-OMS的DWP偏振控制器能夠?qū)馄駥崿F(xiàn)完全的動態(tài)控制。其設(shè)計開發(fā)策略為集成高性能、緊湊型動態(tài)偏振控制器開辟了新的路徑,將進(jìn)一步推進(jìn)可重構(gòu)、自適應(yīng)光網(wǎng)絡(luò)和光系統(tǒng)的小型化趨勢。

論文信息:

https://doi.org/10.1038/s41467-022-29798-0


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