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 圖像翻轉烘箱  光刻圖形反轉設備工藝原理：

    光刻圖形反轉是一種特殊的工藝，用于制作?半導體器件。在曝光結束后，光刻膠中的圖像與想要得到的圖像是相反的，即曝光區(qū)域在顯影后會形成孔洞而不是島區(qū)。這種工藝主要用于制作孔洞結構，通過改變曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域的相對分解率來實現(xiàn)。

圖像翻轉烘箱  光刻圖形反轉設備的應用：

    光刻圖形反轉工藝主要用于剝離過程，特別是在柔性電極、電極的制作以及其他一些MEMS器件工藝中。通過底切側壁形態(tài)，可以防止沉積的材料在光刻膠邊緣和側壁上形成連續(xù)薄膜，有助于獲得干凈的剝離光刻膠結構。

圖像翻轉烘箱  光刻圖形反轉設備的性能：