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用途

用于IC,晶圓等電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝

溫度范圍

室溫＋10℃～250℃

溫度波動(dòng)度

恒溫溫度波動(dòng)±0.5℃

溫度均勻度

計(jì)算方法:設(shè)定150℃,6點(diǎn)測(cè)溫,(max-min)/min≤3.5%

工作室尺寸（mm）

450（深）*450（寬）*600（高）（可自定）

潔凈度（class）

Class100

氣體過(guò)濾

配有氣體過(guò)濾裝置，保證腔體內(nèi)潔凈度為100級(jí)

隔板要求

每個(gè)腔體配二個(gè)隔板，用不銹鋼板沖孔制成

箱體外壁材料

冷軋鋼板靜電噴塑（或SUS304）

箱體內(nèi)壁材料

為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊（SUS316或SUS304）

保溫材料

優(yōu)質(zhì)超細(xì)納米玻璃棉

氮?dú)饨涌?/span>

能將箱內(nèi)空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮?dú)庵羞M(jìn)行

控制方式

人機(jī)界面+PLC控制

氮?dú)饬髁?/span>

0.3~0.5M3/H(可調(diào)，可選擇具有流量偏低/偏高報(bào)警功能,并實(shí)時(shí)監(jiān)控記錄曲線）

超溫保護(hù)

采用獨(dú)立的超溫保護(hù)裝置，確保溫度不超限；當(dāng)保護(hù)裝置動(dòng)作時(shí)，超溫保護(hù)裝置自動(dòng)切斷加熱電源并進(jìn)行聲光報(bào)警、控制儀采用LED顯示且可調(diào)

計(jì)時(shí)方式

溫度達(dá)到制程設(shè)定值后開始計(jì)時(shí).

排風(fēng)口

直徑50mm的排風(fēng)口,且安裝有調(diào)節(jié)風(fēng)閥

電氣安全保護(hù)

風(fēng)機(jī)過(guò)載保護(hù)、加熱系統(tǒng)超溫保護(hù)、電磁門鎖保護(hù)、安全接地保護(hù).

MES軟件

可連接MES系統(tǒng)

作業(yè)時(shí)掃碼可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認(rèn)是否正確

自動(dòng)記錄作業(yè)累計(jì)次數(shù)，作業(yè)批號(hào),作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時(shí)間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動(dòng)生成Excel報(bào)表

有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設(shè)備,且自動(dòng)記錄作業(yè)人員