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態(tài)
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對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數(shù)據
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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FDTS氣相沉積系統(tǒng) FDTS防粘真空處理系統(tǒng)專用性
來源:
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作者:上海雋思半導體設備部
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發(fā)布時間: 2026-03-30
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FDTS氣相沉積系統(tǒng) FDTS防粘真空處理系統(tǒng)專用性
用于在納米壓印光刻中在脫模期間降低表面粘附力。防粘層包括氟化硅烷(TFS)、十八烷基三氯硅烷(OTS)、聚苯并噁嗪、或氟癸基三氯硅烷(FDTS)。
制備一種抗模具粘連的三維元件制作方法及三維元件倒模：
基于軟光刻工藝復制三維元件母版，三維元件倒模的表面，形成一層1H，1H，2H，2H全氟癸基三氯硅烷分子涂層，進行二次復制，固化脫模后得到三維元件復制品。由于1H，1H，2H，2H全氟癸基三氯硅烷分子涂層與母版接觸角不同，二次復制脫模變得容易，起到了抗粘連的作用。
制備一種超疏水涂層：全氟癸基三氯硅烷FDTS與其縮合后降低其表面能，從而達到超疏水效果。該涂層具有自潔能力且能適用多種基材，用途廣范。
FDTS氣相沉積系統(tǒng) FDTS防粘真空處理系統(tǒng)性能
操作性能：配置精密PID智能溫控器、觸摸屏+人機界面
熱力系統(tǒng)：200℃，±0.5℃波動度
真空性能：極限真空50pa（可定制）
產品處理空間：20-3000L支持定制）
特殊配置：該設備采用防腐型材料內腔，防腐專用真空泵，防腐專用閥門
對半導體圖像傳感器組裝過程中感光面易受水/顆粒污染導致像素缺陷的問題，采用氣相沉積工藝在感光面形成超薄透光疏水層。FDTS氣相沉積系統(tǒng)通過單分子層自組裝技術實現(xiàn)均勻涂層，既保持≥80%透光率保障光學性能，又具備115°接觸角的強疏水性，有效阻隔液體污染，同時薄層結構不影響打線制程，顯著提升成品率。
