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潔凈烘箱，百級潔凈烘箱用途:
  百級潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

潔凈烘箱，百級潔凈烘箱特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用垂直送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。

潔凈烘箱，百級潔凈烘箱技術(shù)參數(shù)：

1.主要技術(shù)指標(biāo)：
 內(nèi)箱材質(zhì)：SUS304鏡面不銹鋼；

外箱材質(zhì)：優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑；

無塵等級：Class 100;     

溫度范圍：RT+10～250℃；
 溫度均勻度：≤±2%;    

溫度波動度：±0.5℃（空載）；        
 溫控精度：±0.1℃;

氮氣控制：φ8mmN2進氣，0-100L可調(diào)流量計控制;