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  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮氣烘箱
  • 熱風循環(huán)真空烘箱,高溫熱風真空烤箱
  • HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
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潔凈烤箱,10/100/1000級潔凈烤箱等級標準
來源:上海雋思實驗儀有限公 | 作者:上海雋思半導體設備 | 發(fā)布時間: 2017-07-13 | 4477 次瀏覽 | ?? 點擊朗讀正文 ?? ? | 分享到:
潔凈度等級有國際標準就是ISO,還有國內標準,10/100/1000級屬于國內標準。10/100/1000的意思是:每立方米空氣內含有微粒(微粒直徑大于等于0.1微米的最大個數。例如,100級就是粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數不能大于100個。  
國標與ISO標準相對應: 10級相當于ISO4級,100級相當與ISO5級,1000級相當于ISO6級。

級潔凈烤箱用途:
  級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

級潔凈烤箱特點:
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到最佳溫度控制精度
級潔凈烤箱產品技術參數:

   無塵等級:Class 100; 可自定義10/1000級    

 溫度范圍:RT+10200℃;最高溫度可自定義
   溫度均勻度:±2℃;    

 溫度波動度:±0.5℃(空載)        
   溫控精度:±0.1℃;        

 工作尺寸:W800×D800×H1000mm)可自定義         
   電源:380v , 50Hz,20KW    

 網板:2塊(高度可調節(jié))

 潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層流循環(huán)方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。最小限度控制風速距離。

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