就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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PI無氧烘箱工藝流程
來源:
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作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時間: 2023-04-06
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PI光刻膠是一種高性能、高精度的光刻膠，被廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、MEMS等領(lǐng)域
PI無氧烘箱工藝的必要性：
PI光刻膠的預(yù)烘是將其涂覆在襯底上后，在特定溫度下進行一段時間的烘千，使PI溶液中的溶劑揮發(fā)掉，PI形成一定的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)并增強其附著性。
PI無氧烘箱工藝要求（參考）：
在低氧狀態(tài)下使用
真空加熱，升溫至1xx℃
再溫至1xx℃(約xh),保溫約 30min;
繼續(xù)升溫至x00℃，視涂層厚度不同加熱10-x0min
保溫 約60min；
降溫至100℃以下
PI無氧烘箱性能：
溫度：室溫+50～400℃
氧濃度：≤10ppm
真空度：1Torr
冷卻裝置：輔助降溫
控制方式：可程式運行
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