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涂膠預(yù)處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng)應(yīng)用于光刻工藝

   涂膠預(yù)處理(HMDS)系統(tǒng)涂底為了增強(qiáng)晶圓表面的黏附性，通常使用六甲基二硅亞胺（HMDS）進(jìn)行處理。 將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

涂膠預(yù)處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng)應(yīng)工藝性能

HMDS藥液泄漏報警提示系統(tǒng)

HMDS低液位提示

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

程序互鎖定保護(hù)等功能

產(chǎn)品兼容：2-12寸晶圓及碎片，多個cassette，（可定制）

溫度范圍：RT-200℃

真空度：≤1torr

操作方式：人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行

儲液瓶：HMDS儲液瓶

真空泵：無油渦旋真空泵

數(shù)據(jù)處理：多個工藝方案，可修改并保存，使用數(shù)據(jù)可記錄

功能：去水烘烤、HMDS增粘劑涂布、蒸鍍固化、廢氣排放工藝基于一體。

更多用途,半導(dǎo)體制造/納米壓印光電面板處理/陶瓷新材料/納米多孔陶瓷材料/碳纖維材料/碳化硅材料等新型復(fù)合材料。